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儀的原理基于等厚干涉，當(dāng)光線在兩個(gè)平行表面之間多次反射時(shí)，會(huì)產(chǎn)生干涉條紋，通過(guò)分析這些干涉條紋，可以測(cè)量出表面的微小不平整度。菲索干涉儀的構(gòu)造通常包括以下幾個(gè)部分：1.光源：提供穩(wěn)定的單色光或準(zhǔn)單色光。2.準(zhǔn)直系統(tǒng)：將光源發(fā)出的光變成平行光束。3.分束器：將光束分為參考光束和測(cè)試光束。4.標(biāo)準(zhǔn)平面或球面：作為參考表面，與被測(cè)表面形成干涉。5.被測(cè)光學(xué)元件：待測(cè)量的光學(xué)表面。6.成像系統(tǒng)：用于觀察和記錄干涉條紋。菲索干涉儀的應(yīng)用非常廣泛，它可以用于檢測(cè)透明平行平板的光學(xué)厚度均勻性，也可以用于測(cè)量球面的面形和曲率半徑。此外，菲索干涉儀還可以檢測(cè)無(wú)限、有限共軛距鏡頭的波面像差。菲索干涉儀的測(cè)量精度通 ...
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