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中文：平面干涉儀；英文：flat interferometer

解釋
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 又稱“等厚干涉儀”。一種產生準直光束，垂直照射被測透明對象，形成等厚干涉條紋的分振幅干涉計量儀器。用于測量透明薄膜、透明平行板的光學均勻性，平板的平面度誤差、表面缺陷等。
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