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中文:掃描干涉場曝光;英文:scanning beam interference exposure
關鍵詞
掃描干涉場曝光
scanning beam interference exposure
解釋
中文:掃描干涉場曝光;英文:scanning beam interference exposure的原理;中文:掃描干涉場曝光;英文:scanning beam interference exposure的定義;中文:掃描干涉場曝光;英文:scanning beam interference exposure是什么。
兩束小截面高斯激光相干涉形成直線度誤差為幾納米的干涉條紋,通過精密工作臺的二維運動以掃描方式將干涉條紋記錄于光刻膠上的一種感光過程。
相關詞條
中文:曝光量;英文:exposure
中文:曝光;英文:exposure
中文:干涉條紋;英文:interference fringes
中文:干涉;英文:interference
中文:相干;英文:coherence
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