會產生明顯的色差問題。直到 2013 年，電子科技大學物理電子學院和中科院微電子所改變聚焦成像系統，研制了基于全反射聚焦光學系統的深紫外（DUV）寬帶光譜橢偏儀。該橢偏儀采用基于離軸拋物面鏡和平面反射鏡的全反射式光學系統實現寬光譜（200-1000 nm）測量，離軸拋物面鏡用于產生或聚焦準直 光束，平面反射鏡用于改變光束方向并補償由離軸拋物面鏡反射引起的偏振態變化，解決了色差問題。2016 年，合肥工業大學和中國科學院微電子所在深紫外寬帶光譜儀的基礎上增加快速旋轉補償器式的橢偏結構，該結構實現了寬光譜成像，將光譜范圍拓寬到深紫外波段，橫向分辨率約為8. 77μm×4. 92μm，并減小了系統誤 ...

出的光經過消色差透鏡和單色儀會聚至光纖，通過光纖的光經過準直透鏡變為一束平行光，該光束經過起偏器和旋轉補償器后入射樣品，樣品的反射光經過旋轉補償器、檢偏器和成像透鏡后進入CMOS相機。相機上各像素接收的光束對應的Stokes向量可以表示為式中：Mp、MA、、和MS分別為起偏器、檢偏器、旋轉補償器和樣品的Muller矩陣；和表示旋轉補償器1和2的相位延遲量；R(ε)為各光學元件的旋轉矩陣，其中ε可以表示入射面與雙旋轉補償器的快軸方向的夾角 C1、C2，也可以表示入射面和起偏器、檢偏器的透光軸方向的夾角P和A；Sin為入射光束的Stokes向量，為[1000]T。將上式展開，可得對應像素采集的光強 ...

類型。一、消色差物鏡這是應用zui廣泛的一類物鏡，一般只要對軸上點校正好色差和球差，并使之滿足正弦條件而達到對近軸點消彗差即可，因此只能用于中低檔的普及型顯微鏡中作一般觀察之用。下面幾種典型的消色差物鏡，由于其結構型式有利于帶球差的校正，仍為人們所廣泛采用。1）單組雙膠合低倍物鏡 見圖下圖1，這是可能實現上述像差要求的zui簡單結構，能承擔的zui大相對孔徑為1:3，因此數值孔徑只能達0.1~0.15，相應的倍率為3~6倍。圖12）里斯特型中倍物鏡 如下圖2所示，由二組雙膠合鏡組組成。它能達到的數值孔徑為單組的二倍，即0.2~0.3，相應的倍率為8~20倍。它是更復雜的其他型式物鏡的基礎。圖2 ...

上，由于中心色差就會使透射率減少，石英玻璃的這種現象已經得到改善；氟化鋰則表現出輕微的潮解特性。對于紫外波段使用的光學元件，減輕重量會利于光刻工藝。對于用KrF準分子激光器(波長248nm)、 ArF準分子激光器(波長193nm)和F?準分子激光器(波長157nm)作光源的，一般選用鹵化物晶體作為諧振 腔窗口材料，由于折射系數均勻性和變形相關的問題而使用石英玻璃來減輕鏡頭重量。由于色差校正無法 用一種玻璃材料進行，所以提出了幾種方案，包括一個具有標準具、棱鏡衍射光柵和光學反射鏡組合系統的高頻窄帶準分子激光器。3.濾光片濾光片是光路中的重要組件之一，主要用來實現提取、增強、減弱特定光線或圖像以達 ...

)，并且以消色差方式運行。非常好的光學性能（均勻性 > 95%）可實現均勻照明，從而激活分子。此外，FFI 設置可實現無邊界拼接成像，圖像重疊zui小 (5%)。定量熒光成像的平場照明 項目介紹：高斯輪廓的不均勻光照使得基于激光的寬視場熒光顯微鏡的定量分析具有很高的挑戰性。許多因素，包括光源和照明光學有助于均勻性。當需要幾百微米或毫米尺度的大視場時，這些特性尤其困難。獲得一個圖像網格，使邊界重疊，并在后處理中將圖像拼接在一起。如果光照不均勻，zui終拼接的圖像在每個單獨的圖像周圍都有暗淡的邊界。因此，細胞和組織樣本的測量是不可靠的。非均勻光照的另一個缺點是分子的不均勻激活。那些zui靠近 ...

布置(以消除色差):使用焦距750 mm的金色球面鏡。使用合適的帶通光譜濾波器限制光譜范圍(中心波長為4μm或2500 cm- 1500 nm帶寬，Thorlabs FB4000-500)。使用固定在20厘米掃描臺上的輻射熱計陣列(FLIR玻色子，640x480 px)記錄不同位置的光束輪廓;根據ISO標準11146，掃描范圍涵蓋必要的瑞利距離。圖2上圖2。通過M2表征(4μm中心波長，500 nm帶寬)獲得的中紅外超連續譜束在不同位置的分布:(a-c)靠近焦點位置(a,b為特意像散光束的長、次軸);(d)在準直器后直接測量的超連續譜激光源的實際出射光束(歸一化，輻射熱計未進行現場校正)。超連 ...

512)，消色差，震動不敏感等特點。半導體技術在現代社會中扮演著越來越重要的角色。隨著半導體器件尺寸的減小和集成度的提高，對檢測技術的要求也越來越高。紫外波前傳感器作為一種高精度的光學檢測手段，在半導體檢測領域發揮了越來越重要的作用，應用范圍也越來越廣泛。工作原理：昊量光電推出的紫外波前分析儀基于四波剪切干涉的原理。四波剪切干涉技術克服了傳統哈特曼傳感器的局限性，可以直接檢測匯聚的激光，同時獲得相位時需要的像素點大大減少，從而具有高分辨率、高靈敏度和寬動態范圍，消色差等優勢。AUT-SID4-UV-HR紫外波前分析儀由高分辨率的相機和二維衍射光柵構成，激光通過光柵后，待檢測的激光波前分成四束， ...

真，場曲率;色差-波前色差，橫向和軸向色差等。2. 通過物鏡、針孔單元和D7干涉儀的精確線性運動來測試視場。3. 檢測精度如下表所示：3.畸變校正1. DifroMetric軟件導出/導入數據傳輸為標準光學設計軟件(ODS)。2. 物鏡的測量像差可用澤尼克條紋系數表示。3. 實測像差系數CFZM可與設計系數CFZD進行數據比較，DifroMetric和光學設計軟件之間可交互作用。4. 比較的結果有助于選擇參數包括-氣隙，或其他參數，這對于在裝配過程中對待測件位置的調整有重要作用。4.D7系統的優點1. 測試介觀物鏡不需要參考鏡。2. 測試介觀物鏡可在全光譜范圍VIS + NIR下進行。3. D ...

nm波段，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度，能夠精確測量紫外光波前的細微變化。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學元件表征（DUV光刻、半導體等領域）和表面檢測（透鏡和晶圓等）。193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導體/光刻機行業中具有重要作用。該傳感器具有高分辨率，消色差，對震動不敏感，高靈敏度（2nm RMS）等特點，可以為半導體制造和光刻機技術提供關鍵波像差數據，有助于提高生產效率和產品質量，推動行業的發展。在光刻機行業中，高精度的波前傳感器是關鍵組件之一。它可以實時監測和校正光刻機光學系統中的誤差，從而提高光刻質量和成品率。這款新的紫 ...

束的能力和消色差而脫穎而出。該技術于2004年由Phasics在市場上推出，現在因其性能和易于集成而獲得國際認可。圖2SID4波前傳感器圖3 棋盤格網柵三、190-400nm紫外波前傳感器四、400-1100nm可見光-近紅外波前傳感器五、900-1700nm短波紅外波前傳感器六、3-5 μm＆8-14 μm中紅外波前傳感器關于生產商：PHASICS成立于2003年，提供光學計量和成像解決方案，從獨立的SID4波前傳感器到全自動測試臺、Kaleo MTF、MultiWAVE，以及全模塊化計量解決方案Kaleo Kit。這一系列波前測量系統和定量相位成像解決方案基于創新的高分辨率波前傳感技術。P ...