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中文：接觸式光刻；英文：contact printing / contact lithography
關鍵詞
接觸式光刻
contact printing / contact lithography
解釋
中文：接觸式光刻；英文：contact printing / contact lithography的原理；中文：接觸式光刻；英文：contact printing / contact lithography的定義；中文：接觸式光刻；英文：contact printing / contact lithography是什么。
將擬制備圖形的掩模板直接和涂有抗蝕劑或光刻膠的基底（如硅片）進行接觸，利用光束進行曝光，將掩模上的圖形復制到抗蝕劑或光刻膠中的光刻工藝。
相關詞條
中文：曝光；英文：exposure
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