研究氟化鈣的雙折射摘要:本文介紹使用一種PEM光彈調(diào)制器,其中PEM的速度為整個(gè)的雙折射映射打開(kāi)了大門 ,通過(guò)在信號(hào)處理方案中增加一個(gè)額外的鎖相放大器,可以進(jìn)一步提高測(cè)量速度。除了速度,PEM技術(shù)還提供了較高的雙折射測(cè)量精度。業(yè)內(nèi)得到共識(shí)的是,氟化鈣CaF2是一種實(shí)用的光學(xué)材料,用于157納米光刻步進(jìn)和掃描透鏡。制備高質(zhì)量的低應(yīng)力雙折射CaF2一直是一個(gè)挑戰(zhàn)。除了這種應(yīng)力誘導(dǎo)雙折射,約翰·伯內(nèi)特和他在NIST的同事們發(fā)現(xiàn)了CaF2沿<110>在157.6納米處的晶體軸徑為11.2納米/厘米這一消息對(duì)于光刻工業(yè)來(lái)說(shuō)是一個(gè)不受歡迎的意外,因?yàn)樗麄冨e(cuò)誤地認(rèn)為屬于立方晶體群的CaF2是一種 ...
折射率引導(dǎo)型光子晶體光纖的結(jié)構(gòu)類型與機(jī)理前言:光子晶體光纖(Photonic Crystal Fiber,PCF)的概念。與普通光纖是由包層與纖芯兩種介質(zhì)組成向類比,光子晶體光纖通常是由單一介質(zhì)構(gòu)成的,其包層周期性地規(guī)則對(duì)稱分布著具有波長(zhǎng)量級(jí)的空氣孔陣列,包層外為涂覆層。因此,也可以稱其為“多孔光纖”(HoleyFiber)或“微結(jié)構(gòu)光纖”(MicrostructureFiber)。光纖的中心,即被空氣孔陣列包層包圍的纖芯部位,可以視為周期結(jié)構(gòu)陣列中存在的“缺陷”。光子晶體光纖的微結(jié)構(gòu)特性主要由三個(gè)參量決定,即空氣孔的直徑d,相鄰兩孔之間的距離Δ,以及纖芯的直徑D。光子晶體光纖的這種微結(jié)構(gòu)特定 ...
鏡物方介質(zhì)的折射率 n 和物方孔徑角正弦之乘積,用符號(hào) NA來(lái)表示,即(1) 顯微物鏡的分辨率δ顯微物鏡的分辨率是以它能夠分辨開(kāi)兩點(diǎn)的較小距離δ來(lái)表示的,計(jì)算公式為:當(dāng)被觀察體本身不發(fā)光,需要其他照明光源時(shí),隨照明條件的不同,計(jì)算公式將有所變化。根據(jù)阿貝的研究,對(duì)物體進(jìn)行斜人射照明時(shí),較小分辨率為:由以上公式可見(jiàn),對(duì)于一定波長(zhǎng)的單色光,在像差校正良好的情況下,顯微鏡的分辨率完全曲物鏡的數(shù)值孔徑?jīng)Q定。數(shù)值孔徑越大,分辨率越高。當(dāng)物方介質(zhì)為空氣時(shí),物鏡較大的數(shù)值孔徑為 1,一般只有 0.9 左右。而在物體和物鏡之間接以高折射率液體(如n=1.5~1.7的油)時(shí),數(shù)值孔徑可達(dá)1.5~1.6。這種在物 ...
x邊緣射線的折射不變量,對(duì)應(yīng)的x-RSOS。為了說(shuō)明這一點(diǎn),我們將邊緣射線重寫為因此,我們看到量,在相關(guān)的x-RSOS中和曲面j上是x邊緣射線的折射不變量。類似地,x主射線在曲面j上的折射不變量為類似地,從如下y相關(guān)邊緣射線公式中我們知道曲面j上相關(guān)y-RSOS的折射不變量為通過(guò)應(yīng)用上述四個(gè)推出來(lái)的方程,在由之前推出的方程得到與兩個(gè)RSOS相關(guān)的拉格朗日不變量從之前我們對(duì)變形系統(tǒng)的近軸像性質(zhì),我們發(fā)現(xiàn)我們可以把近軸變形系統(tǒng)看作兩個(gè)相關(guān)聯(lián)的RSOS,因此我們已知的兩個(gè)RSOS的所有結(jié)果都可以直接應(yīng)用于變形系統(tǒng)。我們還發(fā)現(xiàn)在一個(gè)變形系統(tǒng)中只有兩條獨(dú)立的近軸斜光線,但我們更傾向于使用在相關(guān)的x-RS ...
顯然,材料的折射率n可以通過(guò)測(cè)量反射率R來(lái)決定。實(shí)際情況下,折射率n隨波長(zhǎng)變化(就是說(shuō),材料會(huì)發(fā)生色散)。但是因?yàn)橐呀?jīng)知道很多波長(zhǎng)的反射率,在這些波長(zhǎng)下的折射率n就可以推算出來(lái),如上面的公式所示。多層界面現(xiàn)在考慮涂在材料上的一層薄膜。這種情形下,薄膜的頂部和底部都會(huì)反射光。總反射光量是這兩部分反射光的疊加。因?yàn)楣獾牟▌?dòng)性,這兩部分反射光可能干涉相長(zhǎng)(強(qiáng)度相加)或干涉相消(強(qiáng)度相減),這取決于它們的相位關(guān)系。而相位關(guān)系取決于這兩部分反射光的光程差,光程差又是由薄膜厚度,光學(xué)常數(shù),和光波長(zhǎng)決定的。當(dāng)薄膜內(nèi)光程等于光波長(zhǎng)的整數(shù)倍時(shí),兩組反射光相位相同,因而干涉相長(zhǎng)。當(dāng)光重直人射到透明薄膜時(shí)就是這種情 ...
膜厚測(cè)量原理(三)-通過(guò)光譜反射確定薄膜特性薄膜反射率的振幅和周期取決于薄膜厚度,光學(xué)常數(shù),和界面粗糙度等其它特性。在多于一個(gè)界面的情況下,薄膜的光學(xué)特性不可能以解析解的形式來(lái)算出來(lái),也不可能在每個(gè)波長(zhǎng)下描述n和k值。實(shí)際應(yīng)用中,一定波長(zhǎng)范圍內(nèi)的n和k由數(shù)學(xué)模型根據(jù)幾個(gè)可調(diào)節(jié)參數(shù)模擬得出。薄膜特性通過(guò)計(jì)算厚度實(shí)驗(yàn)值及n與k模型參數(shù)的反射光譜來(lái)確定,不斷調(diào)整這些數(shù)據(jù),直到計(jì)算反射率和測(cè)量反射率相匹配。n和K的建模有許多數(shù)學(xué)模型描述波長(zhǎng)的函數(shù)n和k。為某種薄膜選擇模型時(shí),在準(zhǔn)確描述相關(guān)波長(zhǎng)范圍n和k的情況下,變量越少越好。一般來(lái)講,不同材料(如:電介質(zhì),半導(dǎo)體,金屬和非金屬)的光學(xué)常數(shù)隨波長(zhǎng)有很大 ...
膜厚測(cè)量原理(四)-膜厚測(cè)量的方法可變量的個(gè)數(shù),光譜反射法的局限光譜反射法可以測(cè)量多種類型薄膜的厚度,粗糙度和光學(xué)常數(shù)。但是,如果只有不到一個(gè)周期的反射率振蕩(如:薄膜太薄),那么就不會(huì)產(chǎn)生足夠的信息來(lái)確定模型的可變量。這樣,對(duì)于非常薄的薄膜,可確定的薄膜特性的數(shù)量就會(huì)減少。如果試圖解決太多的變量,不可能找到唯①的解答;這種情況下待求變量的多種組合都可能使得反射率計(jì)算值與測(cè)量值匹配。取決于薄膜和測(cè)量的波長(zhǎng)范圍,光譜反射法測(cè)量的單層薄膜的較小厚度為1納米到30納米。如果還要測(cè)量光學(xué)常數(shù),除非使用較少變量模型,可測(cè)較小厚度增加為10納米到200納米。如果測(cè)量超過(guò)一層的薄膜的光學(xué)特性,較小厚度將進(jìn)一 ...
鍵。傳統(tǒng)階躍折射率型單模光纖在其中心具有較高的折射率,包層材料具有較低的折射率,以便通過(guò)全內(nèi)反射的機(jī)理傳輸光波電磁場(chǎng),其導(dǎo)模的有效折射率介于芯層中心折射率和包層折射率之間。科學(xué)家們不斷地對(duì)光纖進(jìn)行探索,經(jīng)過(guò)不懈努力發(fā)現(xiàn)了光纖中新的導(dǎo)光機(jī)理,新型的空芯光纖不再局限于傳統(tǒng)的內(nèi)反射原理,其光纖的纖芯折射率可以低于包層折射率,低折射率纖芯的光纖也可以傳輸光波電磁場(chǎng)科學(xué)家們發(fā)明并提出多種新型特種光纖,如微結(jié)構(gòu)光纖,多空光纖,反諧振光纖等。這些新型的特種光纖不僅在長(zhǎng)距離傳輸上有著良好的優(yōu)勢(shì),并且在生物傳感、氣體傳感等應(yīng)用上有著很好的性能。圖1.光纖設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)示意圖1999年,P.St.J.Russell在《 ...
表面粗糙度、折射率等參數(shù)的高精度測(cè)量。點(diǎn)衍射干涉儀不需要標(biāo)準(zhǔn)參考件,可以用于高精度面型的檢測(cè),是一種非常重要的高精度測(cè)量?jī)x器。1.1測(cè)試光路測(cè)試系統(tǒng)主要由D7點(diǎn)衍射干涉儀主機(jī),準(zhǔn)直器,5mm口徑鋁鏡,光學(xué)平臺(tái)等構(gòu)成。1.2 測(cè)試環(huán)境溫度:21℃±1℃;濕度:30%-70%1.3 絕對(duì)精度檢測(cè)(Accuracy)絕對(duì)精度的檢測(cè)采用波前均方根差(wavefront RMS differential ,WRMSD)的計(jì)算方法,WRMSD是干涉儀穩(wěn)定性和測(cè)量有效性的嚴(yán)格標(biāo)準(zhǔn)。它定義為所有測(cè)量波前差異的均方差加上2X均方差的測(cè)量集,并定義為所有測(cè)量波前的平均值的綜合參考。測(cè)試步驟:1)測(cè)試部分從0°開(kāi)始 ...
加工和裝調(diào);折射率的變化應(yīng)能保證挑選到相應(yīng)的玻璃等,稱為變量邊界條件。變量邊界條件除應(yīng)考慮工藝條件和材料的可能性,還要考慮到程序處理的方便和不致引起收斂過(guò)程的波動(dòng)。對(duì)于各類變量可作如下的限制:曲率半徑一般不需給以限制(因?yàn)樽詣?dòng)設(shè)計(jì)中為了確保像差的良好校正,并不會(huì)導(dǎo)致半徑的極度變小);透鏡的厚度應(yīng)嚴(yán)格限制下限(可令d≥0.1D,D為透鏡口徑),為了防止透鏡過(guò)厚,對(duì)上限也可適當(dāng)提出限制;透鏡的空氣間隔只需限制下限;透鏡的折射率可限制在 1.48~1.85 范圍,并將其分段,以便能與色散或阿貝數(shù)相適應(yīng)。第二類邊界條件是以結(jié)構(gòu)參數(shù)為自變量的函數(shù)的邊界條件,是對(duì)結(jié)構(gòu)參數(shù)函數(shù)的限制,包括正透鏡的邊緣厚度、 ...
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