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下圖所示使用平行平晶對(duì)橢偏儀的橢偏角進(jìn)行驗(yàn)證。此時(shí)，按照斯涅爾定律和折射定律式上述兩個(gè)定律可以轉(zhuǎn)換為式中:rp— P 光反射系數(shù)；rs— S 光反射系數(shù)；θ1—入射角；θ2— 折射角；n1 — 空氣折射率；n2 — 平行平晶折射率。求解上式可得：此時(shí)，我們能夠很容易發(fā)現(xiàn)：橢偏角只與平行平晶的折射率相關(guān)，因此，只要確定了平行平晶的折射率即可得到橢偏角。下圖給出了使用折射率為1.46的平行平晶驗(yàn)證光譜型橢偏儀橢偏角的實(shí)例。其中被校橢偏儀的入射角度為65°,求解上式可得的理論值為14.48°, Δ 的理論值為0° ,實(shí)際測(cè)量結(jié)果與理論值相差不超 過 ±0.5°。(a)橢偏角驗(yàn)證結(jié)果 (b)橢偏角Δ驗(yàn) ...
是使用空氣和平行平晶作為標(biāo)準(zhǔn)，對(duì)橢偏儀特定橢偏角的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行驗(yàn)證，但是這并不能保證橢偏角在全范圍內(nèi)的量值準(zhǔn)確可靠。基于以上分析，有必要給出一種更為完善的橢偏角校準(zhǔn)方法，以保證光譜型橢偏儀橢偏角在較大范圍內(nèi)測(cè)量結(jié)果的準(zhǔn)確可靠，我們稱他為樣片測(cè)量法。根據(jù)橢偏儀測(cè)量流程可知，首先需要測(cè)量被測(cè)樣品得到橢偏角參數(shù)，然后建立測(cè)量模型通過擬合的方式得到薄膜的厚度。對(duì)于光譜型橢偏儀而言，不同材料、不同薄膜厚度的樣片，對(duì)應(yīng)的橢偏參數(shù)是不相同的。假定被測(cè)樣品材料固定，則橢偏角和薄膜厚度建立了對(duì)應(yīng)的關(guān)系，使用不同厚度的薄膜樣片就可以實(shí)現(xiàn)橢偏角的校準(zhǔn)，測(cè)量形式如圖1所示。圖1 模型固定的橢偏儀測(cè)量形式目前，硅作為較 ...
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