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ENGLISH

中文：曝光實時監測；英文：in-situ monitoring of exposure

關鍵詞

解釋

通過探測曝光過程中光刻膠折射率空間分布發生的微小變化而形成的潛像光柵，記錄光束某一非零衍射級實現對曝光過程的實時監測的方法。可根據所要制作的光柵刻槽形狀確定在監測曲線適當位置處停止曝光。

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