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中文：光柵干涉儀；英文：grating interferometer

關鍵詞

解釋

一種基于衍射原理的橫向錯位干涉儀。它在有環境干擾的情況下具有良好的穩定性。干涉信號是由光柵上衍射的兩束光波順序互相重疊產生，計算兩束光之間的相位差可獲得測量值。

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