解釋
中文：光學微機電系統；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS的原理；中文：光學微機電系統；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS的定義；中文：光學微機電系統；英文：micro-opto-electro- mechanical system / MOEMS是什么。
簡稱“微機電系統”。一種利用微電子、微機械技術把電子、機械和光學部件集成在一起實現某些功能的微小集成系統。它屬于微電子 （集成電路）、微機械和微納光學三者相互交叉形成的一個學科分支的研制成果，例如數字微反射鏡陣列器件（DMD）、光波導陣列開關、微機械法布里-珀羅腔（陣列）器件等。
