解釋
中文：圖形化藍(lán)寶石襯底；英文：patterned sa-pphire substrate / PSS的原理；中文：圖形化藍(lán)寶石襯底；英文：patterned sa-pphire substrate / PSS的定義；中文：圖形化藍(lán)寶石襯底；英文：patterned sa-pphire substrate / PSS是什么。
用標(biāo)準(zhǔn)光刻工藝和刻蝕技術(shù)制作周期性、規(guī)則的幾何圖形，依此圖形再進(jìn)行后續(xù)薄膜外延的藍(lán)寶石襯底。圖形線度為納米至微米量級(jí)。以此減少外延薄膜中的缺陷和增強(qiáng)LED 的出光效率。是基于藍(lán)寶石襯底的LED工藝。
