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ENGLISH

中文：微納光柵加工；英文：micro/nano grating fabrication

關(guān)鍵詞

解釋

按所設(shè)計的光柵參數(shù)（如周期和高寬比等）要求，選取其基底和膜層材料，利用微納加工技術(shù)制備微納光柵的過程。

相關(guān)詞條

中文：光柵；英文：grating

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