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或者實現光的非相干性到相干性的轉變。將SLM同超快激光微納加工技術結合起來,發揮二者的優勢,可大大提高激光微納加工的效率和靈活性。如:利用SLM生產多焦點的陣列(e.g. 30x30), 從1個點變成900個點,加工效率提高900倍。同時通過控制各個點的位置,可以實現不同線寬不同焦深的控制。SLM還可以通過加載計算全息圖,可實現圖案結構的一次性曝光加工。圖1 利用SLM生成多焦點陣列及并行加工圖案圖2 市面上的空間光調制器(SLM)產品示例 SLM除了可以調整激光生成二維多焦點配合移動臺或振鏡進行逐層掃描來實現三維加工外,SLM還可將飛秒激光調制成空間特定分布的點陣、線型光場、面型光場、實 ...
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