槽陣列隨后被對準并連接到器件上,以實現光纖耦合器件結構。關于制造過程和器件結構的更多細節在參考文獻10中進行了解釋。圖3所示。基于TFLN的Mach-Zehnder傳感器芯片的制造工藝步驟。(a)離子注入和鈮酸鋰晶體與石英襯底的結合。虛線表示鋰鈮酸鹽層的離子注入層。(b)晶體離子切片工藝及TFLN生產。(c)極化電極沉積。(d)高壓極化過程。電子束光刻、蝕刻、波導形成和聚合物鈍化層沉積。箭頭表示TFLN層的自發極化方向。圖4所示。通過器件的典型極化電流。4.器件特性A.環形諧振式電場傳感器圖5(a)顯示了一個制造和封裝的基于微環諧振器的電磁場傳感器的圖像。可以看出,封裝的傳感器非常緊湊。目前封 ...
、穩定的空間對準。由于光子集成電路取代了多個大塊光學元件(以及它們的機械安裝和支架),電光太赫茲傳感器的尺寸和重量大大減少。未來,具有成本效益的薄膜LNOI探測器芯片的晶圓級制造設想將變成現實。使用鈮酸鋰和光子集成的電光太赫茲波探測器由器件概念表示,其中入射太赫茲波電場使用等離子體天線和等離子體器件局部增強。我們的研究目標是通過開發一種光子集成的全介電電磁傳感器來推進技術。該設備對于射頻/毫米/太赫茲頻率電場和波的非侵入性測量非常重要,在這種環境中,沉積在鈮酸鋰上的金屬結構可能會扭曲待檢測的電場模式。結果光子集成電路薄膜LNOI電光太赫茲傳感器設計如圖1所示。它由一個Mach-Zehnder ...
以保持其干涉對準,以及專有的自鎖機制,使不可逆組裝。分光鏡經過專門設計,使反射鏡的運動能夠調制2-14 um光譜區域的光(圖2)。圖2ChemPen?背后的MEMS引擎是在桑迪亞guo家實驗室的SUMMiT-V制造工藝中制造的,Albuquerque, NM,由五層多晶硅組成,每個多晶硅層之間具有中間犧牲氧化物,并且具有小于0.25 um間隙的旋轉部件的特定功能。后處理包括粘結墊和微量金屬化,骰子,臨界點干燥,鏡面金屬化后釋放,以盡量減少固定和移動鏡的曲率變化。ChemPen?目前是手工組裝,但批量組裝技術正在開發中。了解更多詳情,請訪問上海昊量光電的官方網頁:https://www.auni ...
組件實現精確對準的批量金屬化,該組件允許通過運動耦合在頂部陰影掩模和底板之間進行可重復的-?m級對齊。圖1說明了裝配前的金屬化反射鏡組件使用干涉輪廓顯微鏡(WYKO, NT 2000)測量金屬化和組裝鏡面的表面形貌。與之前記錄的數據相比,將釋放后金屬化與金屬涂層結構的各種鏡面強化技術相結合,可以顯著改善RMS平面度和增加曲率半徑。在整個透明孔徑上測量到的RMS平坦度小于40 nm,對應于min工作光譜區域2 um的小于波長的1/50。峰谷差小于210 nm,使得整個透明孔徑的曲率半徑大于80 cm,曲率半徑僅為2μm,遠小于一條條紋。所開發的工藝具有魯棒性和高度可重復性。圖22. 鏡像運動Ch ...
2.9μm,對準后在紅外相機(Xenics-Gobi 640)上對波導輸出進行成像,在TM偏振下的輸出強度分布如圖1b所示。模態強度分布(COMSOL)模擬顯示,沿x軸和y軸的FWHM分別為10.1μm和2.3μm。采用熱電冷卻型碲化汞鎘(MCT)探測器(VIGO系統)記錄采集物鏡的信號。來自MCT探測器的信號被記錄在一臺計算機上,該計算機也對QCL進行了調諧,并使用軟件包(LaserTune)對光譜進行處理。作為一種簡單的紙基流體結構,用一條濾紙將含水分析物引入波導表面,并確定倏逝吸收路徑長度。在濾紙上蓋上一層副膜以避免樣品蒸發。已經證實,在波導表面存在濾紙本身不會顯著改變光傳輸。圖2在雙蒸 ...
。當單模光纖對準太陽時,獲得了太陽光譜。太陽光譜包括數千條吸收線,這些吸收線是由太陽大氣中不同元素的存在引起的,可以用來研究太陽的成分和溫度。上海昊量光電作為中階梯光柵光譜儀的中國代理,為您提供專業的選型以及技術服務。對于中階梯光柵光譜儀有興趣或者任何問題,都歡迎通過電話、電子郵件或者微信與我們聯系。如果您對中階梯光柵光譜儀有興趣,請訪問上海昊量光電的官方網頁:http://www.arouy.cn/details-2314.html歡迎繼續關注上海昊量光電的各大媒體平臺,我們將不定期推出各種產品介紹與技術新聞。更多詳情請聯系昊量光電/歡迎直接聯系昊量光電關于昊量光電:上海昊量光 ...
為了方便光學對準,使用與低溫兼容的環氧膠將光纖陣列(FA)粘附到PIC上。等離子體馬赫-曾德爾調制器具有兩臂之間的不平衡,引入了一個固定的相移。這允許在不需要電學調節的情況下調整調制器的工作點,例如通過熱光相移器,避免了給低溫恒溫器增加額外的熱負載。相位調制是利用有機電光(OEO)材料的線性電光效應實現的。OEO材料已被證明在4.2 K下表現出高非線性,該裝置的特點是在室溫和4k環境下的頻率響應。圖1(a)描述了等離子體馬赫-曾德爾調制器的實驗裝置圖。圖1(b)顯示了在4 K溫度下從5 GHz到108 GHz的近乎平坦的頻率響應。更準確地說,樣品被放置在一個4 k閉環液氦低溫恒溫器中。一個安裝 ...
儀進行高精度對準。由于光頻梳偏頻測量模塊(COSMO)使用了納米光子波導,它可以使用比傳統方法低得多的脈沖能量來檢測載波包絡偏移頻率,它允許以小于200 pJ (即frep頻率=1 GHz時,平均功率< 200 mW,其中frep是指重復頻率)的脈沖能量精確檢測fceo,這使得光頻梳偏頻測量模塊(COSMO)可以與各種頻率的光梳一起使用,包括那些功率很低的光頻梳或重復頻率很高的光頻梳。圖2如圖2所示的簡單配置中,將鎖模光纖激光器與光頻梳偏頻測量模塊(COSMO)連接,再將該模塊連接到示波器上,我們就可以在示波器上看到三個峰,分別是fceo、fceo-frep、frep.下面介紹一下利用光 ...
復雜光學系統對準/計量參考球體或顯微鏡物鏡可以很容易地放置或擰到R-Cube模塊的出口處。在此配置中,點源創建一個發散光束,該發散光束注入被測系統中。實時波前顯示允許監控和優化光學對準。1.3面型檢測當集成到反射裝置中時,Phasics SID4波前傳感器可以執行面型檢測。Kaleo 軟件輸出3D 曲面圖和凸面或凹面(如透鏡、鏡子或模具)的曲率半徑。ISO 10110 標準定義的所有表面質量參數,如表面不規則度、粗糙度和波紋度,都是從該測量中計算得出的。也可以在任何方向上提取表面輪廓,并且可以將結果與理論表面進行比較。二、激光測試和自適應光學控制Phasics的波前傳感器以其無與倫比的高分辨率 ...
如光學測試和對準(表面測量)、傳輸波前誤差測量、調制。★QWLSI四波橫向剪切干涉測量原理四波橫向剪切干涉測量(QWLSI原理) 具有納米級靈敏度和高分辨率的相位和強度。這項創新技術依靠衍射光柵將入射光束復制成4個相同的波。經過幾毫米的傳播,4個波紋重疊并干涉,在檢測器上產生干涉圖。★QWLSI四波橫向剪切干涉技術優勢四波橫向剪切干涉測量技術(QWLSI),也被稱為改進哈特曼掩模技術。它以其高空間分辨率,無需中繼透鏡即可測量發散光束的能力和消色差而脫穎而出。該技術于2004年由Phasics在市場上推出,現在因其性能和易于集成而獲得國際認可。圖2SID4波前傳感器圖3 棋盤格網柵三、190-4 ...
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