解釋
中文：橢圓偏振測量術(shù)；英文：ellipsometry的原理；中文：橢圓偏振測量術(shù)；英文：ellipsometry的定義；中文：橢圓偏振測量術(shù)；英文：ellipsometry是什么。
簡稱“偏振測量術(shù)” “橢偏術(shù)”。利用橢圓偏振光在遇到樣品被反射散射或透射時，其偏振狀態(tài)的改變而實現(xiàn)的一種測試技術(shù)。常用于測量薄膜的厚度、折射率等光學常數(shù)，并廣泛用于生物學、半導體物理、腐蝕與表面科學以及電化學等領(lǐng)域。
