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觀測。它通過磁光調制技術來調整接收光的偏振方向;采用面陣探測器獲取樣品表面的橢偏圖像;采取用磁光調制器取代傳統步進電機轉動起偏器、補償器或檢偏器光軸的方法來實現橢偏儀的測量,采用磁光調制器改變接收光的偏振方向,可以得到更高的偏振方向控制精度和重復精度,而且磁光調制器的調制速度更快。該技術給成像橢偏儀發展提供了新的方向,較大地提高了測量速度。如果您對橢偏儀相關產品有興趣,請訪問上海昊量光電的官方網頁:http://www.arouy.cn/three-level-56.html相關文獻:1薛利軍, 李自田, 李長樂, 等 . 光譜成像儀 CCD 焦平 面組件非均勻性校正技術研究[J ...
nm。通過與磁光調制、時間相移和雙反射等技術的結合,光譜橢偏技術提高了測量速度和準確性。通過與Muller矩陣的結合,光譜橢偏技術不再受光學分辨率極限的限制,提高了測量的準確性,可以獲得更豐富的信息。2019年華中科技大學發明了基于液晶調相的垂直物鏡式Muller矩陣成像橢偏儀,該儀器所用系統改變了之前普通傾斜鏡面成像的結構,根本上避免了焦深小、視場窄的問題,可實現高分辨率、寬視場測量,可用于對納米薄膜幾何參數的測量。2018年韓國朝鮮大學提出用于表征多層膜結構的大面積光譜成像橢偏儀,利用寬帶光源和成像光譜儀,光譜范圍可以達到400-800nm。準直光束通過擴束器擴展,直徑達到30mm,通過低 ...
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